Project Description

Pásztázó elektron mikroszkópos (SEM) mérés

A legtöbb kutatás és fejlesztés során szükség van vizualizálni is a vizsgálandó anyagot, amihez az emberi szem vagy a CCD kamerák felbontása nem mindig elegendő. A fényszóródás (diffrakció) miatt az optikai mikroszkópoknak van egy elérhető maximális nagyítási határa, mely ma digitális mikroszkópoknál kb. 5000-szeres lehet. Ha ennél nagyobb nagyításra van szükségünk, akkor kisebb hullámhosszú vizsgáló részecskékre van szükség (ilyen lehet a gyorsított elektron). A pásztázó elektronmikroszkópok (Scanning Electron Microscopy, SEM) képalkotási elve nagyon hasonló az optikai mikroszkópokéhoz, de az ezekkel elérhető maximális nagyítás nagyságrendekkel nagyobb. A SEM képeken akár 1-2 nm-es objektumok is láthatóvá válnak.